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  • CVD合成石英HOSQ-021
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  • CVD合成石英HOSQ-021

    以四氟化硅為原料,采用CVD法制造,具有大尺寸、低雜質含量等特性,光學均勻性好,可用于LCD光掩膜基板、高能激光光學元件和半導體石英器件的制造。

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商品描述

以四氟化硅為原料,采用CVD法制造,具有大尺寸、低雜質含量等特性,光學均勻性好,可用于LCD光掩膜基板、高能激光光學元件和半導體石英器件的制造。


產品指標


型號

金屬雜質

(ppb))

羥基

(ppm)

均勻性條紋

應力雙折射

(nm/cm)

尺寸

(mm)

波段

(nm)

HOSQ-021<500<1000NS1D<5D1000190-2500

備注:可根據使用尺寸定制生產方案


金屬雜質含量


單位:ppb

AlBaCaCrCoCuFeKLiMgMn
NiNaTi含金量
<50<5<50<2<5<5<5<20<5<5<5<5<40<5<500


光學非均勻性與應力雙折射


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